Отчет о научно-исследовательской работе на тему: «Процессы газофазной полимеризации при осаждении тонких пленок струйным плазмохимическим методом» (итоговый)
Фонд № Р-1272. Оп.1. Д. 7061
Кол-во листов: 109
Даты документов: 2014 г.
Дело не оцифровано.