Отчет о научно - исследовательской работе на тему: "Процессы газофазной полимеризации при осаждении тонких пленок струйным плазмохимическим методом" (итоговый)
Фонд № Р-1272. Оп.1. Д. 6585
Кол-во листов: 145
Даты документов: 2013 г.
Дело не оцифровано.