Разработка физико-химических основ и отработка элементов технологии многоуровневых структур БИС. Кировская И.А.
Фонд № Р-1979. Оп.2. Д. 232
Кол-во листов: 136
Даты документов: 1990 – 1990 г.
Дело не оцифровано.
Фонд № Р-1979. Оп.2. Д. 232
Кол-во листов: 136
Даты документов: 1990 – 1990 г.